洛陽中硅高科技有限公司的多晶硅材料制備技術(shù)國家工程實驗室,，科研人員正在做實驗,。河南日報資料圖片
河南日報客戶端記者 尹江勇
一粒小小的傳感器,，可賦能萬物,，感知大千世界,；一枚晶瑩的半導(dǎo)體,，可轉(zhuǎn)換光電,，導(dǎo)向無盡未來,。智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),，作為新一代信息技術(shù)的核心，已然成為科技競爭的主戰(zhàn)場,。省委,、省政府著眼構(gòu)建現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系,，將智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)列為全省重點打造的千億級產(chǎn)業(yè)鏈。
漢威科技,、仕佳光子分別在傳感器,、激光器芯片領(lǐng)域牽頭實施2項國家重點研發(fā)計劃；龍門實驗室與中硅高科,、麥斯克電子等企業(yè)聯(lián)合攻克了電子級多晶硅提純關(guān)鍵核心技術(shù),；平煤神馬集團碳化硅半導(dǎo)體實驗室成功生長出全省第一塊8英寸碳化硅單晶晶錠……去年以來，我省高位推動智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,，令人振奮的創(chuàng)新成果不斷涌現(xiàn),。
省政府辦公廳印發(fā)《河南省培育壯大智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈行動方案（2023—2025年）》；河南省電子信息產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟正式揭牌,；成功舉辦2023世界傳感器大會,；河南省傳感器行業(yè)協(xié)會建設(shè)的全國傳感器產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域最大的互聯(lián)網(wǎng)公共服務(wù)平臺累計交易量突破20億元……我省搶抓機遇，圍繞補鏈延鏈強鏈整合優(yōu)勢,，持續(xù)加大產(chǎn)業(yè)鏈培育力度,，正努力把河南智能傳感器和半導(dǎo)體打造成為在全國有影響力的標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)。
創(chuàng)新驅(qū)動
企業(yè)主體“龍騰虎躍”
陽春三月,，萬物生機勃發(fā),。在洛陽中硅高科技有限公司的硅基材料制備技術(shù)國家工程研究中心實驗平臺，十幾個攻關(guān)組組建了近20個研發(fā)團隊,，每個團隊緊盯一個產(chǎn)品,，研究人員正埋頭進行硅基電子材料新產(chǎn)品研發(fā)。
目前國家在集成電路領(lǐng)域需要的硅基材料有40余種,。“我們要在2025年前在產(chǎn)業(yè)方面實現(xiàn)30種國產(chǎn)供應(yīng),，其余的要在實驗室實現(xiàn)基礎(chǔ)突破。”中硅高科副董事長,、黨委副書記、總經(jīng)理萬燁表示,，企業(yè)作為河南省電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)鏈和洛陽市集成電路和智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈鏈主單位,，將加大科研投入力度，支撐洛陽產(chǎn)業(yè)鏈條沖刺百億級目標(biāo),。
類似的企業(yè)發(fā)展場景在我省智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈條上正不斷呈現(xiàn)：去年10月17日,，位于平頂山市的河南中宜創(chuàng)芯發(fā)展有限公司年產(chǎn)2000噸電子級碳化硅粉體項目一期試生產(chǎn)成功，標(biāo)志著河南電子級碳化硅粉體開始進入批量生產(chǎn)階段,，填補了河南第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域空白,。
今年年初，作為國內(nèi)氣體傳感器行業(yè)龍頭企業(yè),，漢威科技集團發(fā)布了JT-KWA系列激光家用可燃氣體探測器新品,，意味著漢威科技集團已實現(xiàn)從激光器到傳感器模組再到可燃氣體探測器的全鏈條自主可控,，引領(lǐng)激光氣體探測技術(shù)從工業(yè)走向民用領(lǐng)域，并形成了行業(yè)領(lǐng)先的產(chǎn)品優(yōu)勢,。
“2023年以來,，按照省委、省政府培育推進產(chǎn)業(yè)鏈工作統(tǒng)一要求,，我省聚焦提升產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)高級化和現(xiàn)代化水平,，緊密協(xié)作、齊抓共管,，推動產(chǎn)業(yè)生態(tài)擴量提質(zhì),，產(chǎn)業(yè)鏈自主創(chuàng)新能力和核心競爭力正加速提升。”省科技廳黨組書記,、廳長張銳介紹,，鄭州、洛陽兩個產(chǎn)業(yè)核心區(qū)創(chuàng)新發(fā)展能力和集聚效應(yīng)顯著增強,，三個高能級平臺穩(wěn)步推進,，N個特色產(chǎn)業(yè)基地加緊建設(shè)，將智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)打造成為全省新興領(lǐng)域標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)的信心進一步增強,。
圍繞關(guān)鍵環(huán)節(jié),，強化科技攻關(guān)。河南省日立信股份有限公司研制出基于硅基氣敏薄膜芯片的MEMS氫氣,、甲醛及硫化氫傳感器,，已成功在核電、新能源汽車,、智能家居等重點領(lǐng)域應(yīng)用驗證,；鄭州磨料磨具磨削研究所、河南飛孟金剛石公司承擔(dān)的第三代化合物半導(dǎo)體用材料產(chǎn)業(yè)項目通過了國家驗收,；平煤神馬集團碳化硅半導(dǎo)體實驗室生長出全省第一塊8英寸碳化硅單晶晶錠,，填補了我省相關(guān)領(lǐng)域空白。
聚焦產(chǎn)業(yè)需求,，創(chuàng)新服務(wù)發(fā)力,。省科技廳圍繞我省7大萬億級先進制造業(yè)集群和28個重點產(chǎn)業(yè)鏈一體化布局創(chuàng)新鏈，全面啟動科技服務(wù)綜合體工作,，為創(chuàng)新主體提供專業(yè),、精準、高效的創(chuàng)新服務(wù),。在智能傳感器和半導(dǎo)體方面,，實施2023年度重大科技項目12項，省財政合計支持2580萬元，涵蓋材料,、芯片,、傳感器、裝備制造,、應(yīng)用場景示范等方向,，為提升產(chǎn)業(yè)鏈各關(guān)鍵環(huán)節(jié)核心競爭力提供有力的科技支撐。
全鏈提升
“一谷多園”持續(xù)優(yōu)化
沿鄭州高新區(qū)科學(xué)大道往西,，就能看到總投資60億元的中國（鄭州）智能傳感谷啟動區(qū),，這里已集聚傳感器產(chǎn)業(yè)鏈核心及關(guān)聯(lián)企業(yè)3000余家，綜合實力居全國傳感器十大園區(qū)第四位,。
智能傳感谷是我省打造智能傳感產(chǎn)業(yè)集群的核心承載平臺,。“作為傳感谷建設(shè)的先頭部隊，啟動區(qū)內(nèi)的產(chǎn)業(yè)布局完全按照產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展要素而建,，規(guī)劃有創(chuàng)業(yè)孵化大廈,、中試基地、產(chǎn)學(xué)研基地,、企業(yè)總部基地,、產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)及飛地孵化基地，打造國內(nèi)一流,、國際先進水平的智能傳感物聯(lián)新高地,。”啟動區(qū)項目負責(zé)人劉鵬告訴記者。
省委,、省政府高度重視智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展,，將其列為河南省重點培育的28條產(chǎn)業(yè)鏈之一。根據(jù)2023中國民營經(jīng)濟發(fā)展論壇發(fā)布的《民營經(jīng)濟驅(qū)動產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展研究暨2023中國百強產(chǎn)業(yè)集群》報告,，鄭州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群成功入選“百強”,，位列河南第一。經(jīng)過多年發(fā)展,，智能傳感谷的產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)加速集聚態(tài)勢,，形成了氣體、氣象,、農(nóng)業(yè),、電力（網(wǎng)）等多門類傳感器產(chǎn)業(yè)鏈及批量生產(chǎn)能力。
截至目前,，智能傳感谷已擁有國家級專精特新“小巨人”企業(yè)41家。其中漢威電子,、新天科技,、光力科技等6家智能傳感器上市企業(yè)，產(chǎn)業(yè)規(guī)模已由50億元壯大至300億元,，年均增長45%,。氣體傳感器國內(nèi)市場占有率達75%,，氣體檢測儀表國內(nèi)市場占有率達15%，居全國首位,。智慧水務(wù),、智慧環(huán)保、安全監(jiān)測等整體解決方案成為行業(yè)標(biāo)桿,。
根據(jù)規(guī)劃,，智能傳感谷將重點圍繞智能傳感器材料、智能傳感器系統(tǒng),、智能傳感器終端“三個產(chǎn)業(yè)集群”,，發(fā)展環(huán)境傳感器、智能終端傳感器,、汽車傳感器“三個特色產(chǎn)業(yè)鏈”,，形成千億產(chǎn)業(yè)帶。到2025年,，智能傳感谷將打造千億級產(chǎn)業(yè)集群,，鄭州市智能傳感器產(chǎn)業(yè)相關(guān)規(guī)模達到1000億元，建設(shè)國家級技術(shù)中心3個以上,，培育超100家高新技術(shù)企業(yè),。
與此同時，全省加速布局智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈：洛陽市圍繞智能傳感器,、電子特氣,、硅基電子功能材料等重點細分領(lǐng)域，強化關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān),，推動重點項目建設(shè),，加快打造半導(dǎo)體材料制造基地；新鄉(xiāng)市做大,、做強,、做優(yōu)特色電子氣體、芯片制造和芯片封測產(chǎn)業(yè),，新鄉(xiāng)高新區(qū)半導(dǎo)體數(shù)字產(chǎn)業(yè)園項目正在規(guī)劃建設(shè)中,；鶴壁市項目建設(shè)不斷加快，仕佳光子產(chǎn)業(yè)鏈核心環(huán)節(jié)優(yōu)勢地位得到加強,；南陽市重點在紅外傳感器,、光敏電阻等領(lǐng)域發(fā)力，并向氣體,、火焰探測等工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用拓展,，高標(biāo)準建設(shè)社旗縣傳感器高科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)項目；鄭州航空港區(qū)落地惠科、合晶硅片,、龍芯中原總部等重大項目,，與超聚變、比亞迪等終端項目形成產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán),，打造泛半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)群,。
俯瞰中原大地，以鄭州的智能傳感谷為核心,，智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈已輻射四面八方,。開封流量儀表、洛陽氣象監(jiān)測,、新鄉(xiāng)MEMS制造,、鶴壁光電傳感……各地逐步形成了各具特色的產(chǎn)業(yè)園區(qū)，全省“一谷多園”的產(chǎn)業(yè)發(fā)展格局正在持續(xù)優(yōu)化,。
平臺賦能
創(chuàng)新生態(tài)“枝繁葉茂”
進入我省搭建的“智能傳感產(chǎn)業(yè)生態(tài)平臺”,，鄭州一家傳感器企業(yè)的研發(fā)人員上傳需求后，很快就在平臺上匹配到深圳一家企業(yè),，找到了研發(fā)急需的5G模組,。“有了平臺支撐，可以大大加快我們企業(yè)的研發(fā)速度,，并降低成本,。”企業(yè)負責(zé)人王斌興奮地說。
據(jù)介紹,，鄭州智能傳感谷啟動區(qū)打造了行業(yè)首個產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)平臺,，匯聚產(chǎn)業(yè)全要素數(shù)據(jù)，組織產(chǎn)業(yè)上下游優(yōu)質(zhì)資源,，構(gòu)建起線上“傳感生態(tài)圈”,，如今已有1000余家企業(yè)入駐，涵蓋3萬多個產(chǎn)品類別,，幾乎可以滿足企業(yè)所有需求,，助力傳感器產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同發(fā)展。
“為了構(gòu)建良好的智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)圈,，我省全力提升創(chuàng)新能級,，高標(biāo)準建設(shè)了墨子實驗室、智能傳感器產(chǎn)業(yè)研究院,、智能傳感器中試基地等省級創(chuàng)新平臺,，加快建設(shè)省智能傳感器研發(fā)服務(wù)平臺，為技術(shù)創(chuàng)新,、人才集聚,、產(chǎn)業(yè)升級提供重要支撐,。”省科技廳黨組成員、副廳長陶曼晞介紹,，2023年以來，我省在平臺建設(shè)方面力度不斷增強——
去年7月10日,，墨子實驗室正式揭牌,，聚焦半導(dǎo)體光芯片全產(chǎn)業(yè)鏈布局研發(fā)方向，加快關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān),。10月30日,，省工業(yè)和信息化廳牽頭成立河南省電子信息產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，將墨子實驗室吸納為聯(lián)盟理事單位,，推動墨子實驗室與省內(nèi)電子信息企業(yè)資源共享,、協(xié)同合作。
2023年9月1日,，智能傳感器MEMS研發(fā)服務(wù)平臺在鄭州高新區(qū)開工建設(shè),，項目總投資約15億元，力爭2024年9月具備部分投產(chǎn)條件,，2025年年底達到交付使用條件,。屆時，將實現(xiàn)“基礎(chǔ)研究—技術(shù)攻關(guān)—技術(shù)應(yīng)用—成果產(chǎn)業(yè)化”全過程無縫銜接,，推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展邁向規(guī)?；⑻厣?、差異化,、高端化，建設(shè)具有國際影響力的智能傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈,。
在集成電路領(lǐng)域,，公共研發(fā)平臺和中試平臺建設(shè)工作也在快馬加鞭。去年10月8日,，省委專題會議研究同意實施集成電路中試平臺（公共研發(fā)平臺）建設(shè)項目,。去年11月28日，集成電路中試平臺項目在鄭東新區(qū)經(jīng)濟發(fā)展局完成了項目備案,。目前,，中試平臺建設(shè)工作正在有序快速推進。
令人振奮的是,，從省智能傳感器行業(yè)協(xié)會傳來消息,，“河南省智能傳感產(chǎn)業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺”并購整合了中國傳感器網(wǎng)、傳感器專家網(wǎng),、傳感器咨詢網(wǎng)等國內(nèi)有影響力的產(chǎn)業(yè)平臺,，已經(jīng)成為全國傳感器產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域最大的互聯(lián)網(wǎng)公共服務(wù)平臺,，平臺累計交易量突破20億元。
“通過平臺匯聚產(chǎn)業(yè)數(shù)據(jù),，組織上下游優(yōu)質(zhì)資源,，構(gòu)建產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)和產(chǎn)業(yè)服務(wù)，我們可以實現(xiàn)從人才到研發(fā),、研發(fā)到產(chǎn)品,、產(chǎn)品到場景、場景到市場的深度融合,。”河南省智能傳感器行業(yè)協(xié)會秘書長朱寧表示,，未來我省將進一步發(fā)揮產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)平臺作用，暢通“研發(fā)設(shè)計—產(chǎn)品—場景—市場”全要素對接渠道,，為智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)立足河南,、走向全國提供全鏈條服務(wù)。
產(chǎn)業(yè)鏈名片
●智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是新一代信息技術(shù)的核心,。我省傳感器領(lǐng)域已經(jīng)形成了氣體,、氣象、農(nóng)業(yè),、電力（網(wǎng)）,、環(huán)境檢測等多門類產(chǎn)業(yè)鏈及批量生產(chǎn)能力，涵蓋了環(huán)境,、工業(yè),、農(nóng)業(yè)、電力等諸多領(lǐng)域,；半導(dǎo)體方面也初步形成了關(guān)鍵材料,、芯片設(shè)計、器件制造與封測等較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈,，并在關(guān)鍵材料環(huán)節(jié),，硅片、濕化學(xué)品,、電子特氣,、超純銅等方面均取得重大突破。
●截至目前,，我省在相關(guān)產(chǎn)業(yè)細分領(lǐng)域優(yōu)勢明顯,，漢威科技的氣體傳感器、森霸傳感的熱釋電紅外傳感器,、日立信的六氟化硫傳感器國內(nèi)市場占有率均居第一,，光力科技的瓦斯抽采和氣體云監(jiān)測系統(tǒng)、新天科技的智能水表國內(nèi)領(lǐng)先,，半導(dǎo)體封測設(shè)備核心傳感器已實現(xiàn)技術(shù)突破,，壓力,、聲學(xué)、激光,、流量等傳感器供給能力得到了明顯增強,。
●全省現(xiàn)有智能傳感器和半導(dǎo)體高新技術(shù)企業(yè)260余家，其中產(chǎn)業(yè)鏈內(nèi)上市公司已超過10家,，擁有漢威科技,、日立信、仕佳光子,、麥斯克、多氟多等一批行業(yè)龍頭企業(yè)和單項冠軍企業(yè),。
大事記
●2023年4月
光力瑞弘半導(dǎo)體智能制造產(chǎn)業(yè)基地項目（一期）建成投產(chǎn),，劃片機實現(xiàn)穩(wěn)定供貨。
●2023年6月1日
第一次省智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈培育工作會議召開,，工作專班成立,，省委常委、宣傳部長王戰(zhàn)營任產(chǎn)業(yè)鏈鏈長,。
●2023年6月16日
省委常委,、宣傳部長王戰(zhàn)營帶隊赴鄭州高新區(qū)調(diào)研智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展情況。
●2023年7月6日
第二次智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈工作專班推進會召開,，審議修改《河南省培育壯大智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈行動方案》,，安排部署下一步工作。
●2023年7月10日
墨子實驗室正式揭牌成立,。省委書記樓陽生揭牌,，省長王凱出席。
●2023年8月
麥斯克電子年產(chǎn)360萬片8英寸硅外延片正式開工建設(shè),；中硅高科電子信息材料轉(zhuǎn)型升級項目建成調(diào)試,。
●2023年9月1日
智能傳感器MEMS研發(fā)服務(wù)平臺在鄭州高新區(qū)開工建設(shè)。
●2023年9月20日
鄭州合晶硅材料有限公司12英寸大硅片項目開工建設(shè),。
●2023年10月
省政府辦公廳印發(fā)《河南省培育壯大智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈行動方案（2023—2025年）》,。
●2023年10月28日
超算互聯(lián)網(wǎng)核心節(jié)點建設(shè)工程項目簽約暨開工儀式在鄭州舉行。省委書記樓陽生講話,，省長王凱出席,。
●2023年10月30日
河南省電子信息產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟正式揭牌。
●2023年10月31日
河南省智能傳感器和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈工作推進會暨產(chǎn)業(yè)金融合作對接會在中國（鄭州）智能傳感谷啟動區(qū)召開,。
●2023年11月5日至7日
2023世界傳感器大會在鄭州召開,。
●2023年12月6日至8日
經(jīng)國務(wù)院批準，2023世界5G大會在鄭州成功舉辦,。
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